●目的
クリーンルーム内・外の雰囲気ガスをインピンジャー法で捕集して金属・イオン性不純物分析を行い、ケミカルフィルターの性能を確認する。
インピンジャー法・・・インピンジャーと呼ばれる容器内に純水を入れ、吸引ポンプで一定時間雰囲気ガスを吸引し、純水に雰囲気中の不純物をバブリング水捕集させます。捕集液を、イオンクロマトグラフ（IC）などで測定します。
●方法
(1) クリーンルーム内・外にインピンジャーを設置する。
(2) インピンジャーと吸引ポンプを接続する。
(3) 毎分2.0Lの条件で120分間雰囲気ガスを吸引する。
(4) インピンジャーから吸引ポンプを取り外し、密栓する。
(5) 捕集水をイオンクロ分析器を用いて測定する。
インピンジャー捕集
弊社では、輸送中のインピンジャー破損防止のため、樹脂製容器を使用しております。分析精度によっては、石英ガラス製容器を使用する場合もあります。
イオンクロ分析器
カチオン用・アニオン用ともに濃縮カラム・オートサンプラーを付属しており、環境分析などの微量分析に適した装置です。
●結果
イオンクロチャート例
雰囲気ガス中の不純物量例
